簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="近接式曝光"


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    1
    以近接式曝光微影製作微透鏡陣列與光波導光阻模仁之研究
    • 機械工程系 /96/ 博士
    • 研究生： 林宗鴻   指導教授： 趙振綱
    • 本研究主要以近接曝光微影術（UV-proximity printing）來進行製作微光學元件：微透鏡或微透鏡陣列、光波導。另外，以田口方法穩健化設計結合類神經網路(ANN)和基因演算法(GA)建立高…
    • 點閱：319  下載：4 
    • 全文公開日期 2013/01/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

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    利用近接式曝光與立體光罩製作圓錐型微探針陣列模仁成型模擬之研究
    • 機械工程系 /100/ 碩士
    • 研究生： 邱永紳   指導教授： 林宗鴻 、 趙振綱
    • 本論文使用立體光罩(3D-mask)與近接式曝光(proximity exposure)製作圓錐型微探針陣列(micro-probe array)模仁。根據熱熔法(thermal reflow)的限…
    • 點閱：221  下載：9 
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